積塔半導(dǎo)體取得晶圓貨架專利,降低晶圓表面的顆粒污染物

國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,上海積塔半導(dǎo)體有限公司取得一項(xiàng)名為“晶圓貨架”的專利,授權(quán)公告號(hào)CN223822525U,申請(qǐng)日期為2025年2月貨架。

專利摘要顯示,本實(shí)用新型提供一種晶圓貨架貨架。晶圓貨架包括:支架;料臺(tái),設(shè)置于所述支架上,用于承載晶圓;風(fēng)機(jī)組,設(shè)置于所述支架上并位于所述料臺(tái)上方,所述風(fēng)機(jī)組包括多個(gè)離子風(fēng)機(jī)和多個(gè)過濾風(fēng)機(jī),所述離子風(fēng)機(jī)用于向所述晶圓提供離子氣流,所述過濾風(fēng)機(jī)用于朝向所述晶圓提供過濾氣流。上述技術(shù)方案在晶圓貨架上設(shè)置離子風(fēng)機(jī)和過濾風(fēng)機(jī),通過離子風(fēng)機(jī)提供帶有正負(fù)電荷的離子氣流,可以將將晶圓表面上所帶的電荷中和掉,消除靜電效果,降低靜電帶來的風(fēng)險(xiǎn);并通過提供新鮮潔凈的過濾氣流,有效稀釋和沖洗污染源,從而降低污染物的濃度,降低晶圓表面的顆粒污染物。

天眼查資料顯示,上海積塔半導(dǎo)體有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)貨架。企業(yè)注冊(cè)資本1790638.7534萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,上海積塔半導(dǎo)體有限公司共對(duì)外投資了2家企業(yè),參與招投標(biāo)項(xiàng)目1949次,財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息9條,專利信息1339條,此外企業(yè)還擁有行政許可200個(gè)。

聲明:市場(chǎng)有風(fēng)險(xiǎn),投資需謹(jǐn)慎貨架。本文為AI基于第三方數(shù)據(jù)生成,僅供參考,不構(gòu)成個(gè)人投資建議。

來源貨架:市場(chǎng)資訊

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